Produktbeskrivning
KiselnitridTunna filmer har tät struktur, hög styrka och god slitmotstånd och kan användas som strukturella komponenter i MEMS -enheter. Youngs modul och hårdhet hos kiselnitridfilmerna testades med PECVD -metoden, och effekterna av avsättningstemperatur och reaktionsgasflödesförhållande på Youngs modul och hårdhet hos filmerna analyserades. Kiselnitridfilm användes som en suspensionstråle för att tillverka RF MEMS -switchar.
Produktparametrar
| Kvalitet | N | Si | Ca min | O min | C min | Al min | Fe min |
| Si3n 485-99 | 32-39 | 55-60 | 0.25 | 1.5 | 0.3 | 0.25 | 0.25 |
Produkter samarbetsbild
1.KiselnitridKeramik är högtemperatur och höghållfast strukturell keramik med breda utvecklingsutsikter. Den har hög prestanda (såsom hög styrka, god termisk chockstabilitet, hög trötthetssvårighet, hög böjhållfasthet vid rumstemperatur, slitmotstånd, oxidationsmotstånd, korrosionsbeständighet, etc.) och har använts allmänt i alla samhällsskikt. Beredningsmetoderna för kiselnitrid inkluderar huvudsakligen reaktionssintring (RS), varmtryckssintring (HPS), atmosfärstryck sintring (PLS) och pneumatisk tryck sintring (GPS). För närvarande är huvudproblemet att kiselprodukter för kiselnitrid har låg seghet och höga kostnader. I framtiden är det nödvändigt att förbättra malning, formning och sintringsprocesser och sammansättningen av kiselnitrid och kiselkarbid för att utveckla bättre kiselnitridkeramik.
Populära Taggar: Metallkiselnitrid på hög nivå, Kina Högnivå Metallkiselnitridtillverkare, leverantörer, fabrik