Högnivå Metall Silicon Metal 97

Samtidig bestämning av spår- och spårföroreningselement Al, Ca, Fe, Mn, P, Cr, Cu, Ni, Ti, V, Zr, AS och B induktivt kopplad plasmaatomemissionsspektroskopi (ICP-AES) ikiselmetall 97. Ett kiselmetallstandardprov, NIST SRM -57 A, bestämdes med tillfredsställande resultat för bestämning av kiselmetallprover under optimerade instrumenttillstånd och analysmedia. Återvinningarna av spår- och spårföroreningar i kiselmetallprover var mellan 95%~ 105%, och den relativa standardavvikelsen RSD var mindre än 5%, vilket var lätt att använda, snabbt för att analysera och exakta och pålitliga resultat.

1.I mikrosensorsystemetkiselmetall 97Samtrafikprocess används för att övervinna det faktum att när mikrosensorn och IC -chipet är monolitiskt integrerat kan aluminiumanslutningen inte tåla den glödande höga temperaturen som krävs i tillverkningsprocessen för mikrosensorn, och samtrafikstrukturen kan behandlas på standard CMOS -processen linje, vilket minskar tillverkningskostnaden. Efter tejp har sammankopplingsstrukturen egenskaperna för stark stegtäckning, god termisk stabilitet, låg resistivitet och enkel torr etsning, som kan uppfylla kraven i storskaliga IC-multilags interconnect. Den storskaliga digitalanaloghybridintegrerade kretsen som består av den behåller sin prestanda efter att glödgningsförhållandena är 500 grader 5, H, 600 grader, 30 min, 650 grader 5 respektive min. Ovanstående glödgningsförhållanden uppfyller kraven för monolitisk integration av mikrosensorsystem baserat på ferroelektriska tunna filmer.

Populära Taggar: Högnivå Metall Silicon Metal 97, China High Level Metal Silicon Metal 97 Tillverkare, leverantörer, fabrik